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愛德華EPX180L半導(dǎo)體真空泵維修保養(yǎng)

簡要描述:

愛德華EPX180L半導(dǎo)體真空泵維修保養(yǎng):干式渦旋真空泵維修,主要更換配件,軸承,真空泵油,O型圈等。專業(yè)維修EPX180L半導(dǎo)體真空泵,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

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更新時間:2024-10-29

產(chǎn)品產(chǎn)地:英國

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愛德華EPX180L半導(dǎo)體真空泵維修保養(yǎng)
品牌Edwards/英國愛德華輸送介質(zhì)其他
泵軸位置其他葉輪數(shù)目其他
應(yīng)用領(lǐng)域化工,能源,電子,制藥,電氣

 

愛德華EPX180L半導(dǎo)體真空泵維修保養(yǎng)

新的緊湊型EPX180L、 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX500 EPX180L、使用了的保

護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

IPX 系列,可提供的性能,與 EPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

應(yīng)用:

EPX 系列涵蓋的應(yīng)用,從水處理到中度工作負載的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物(如負荷鎖定)且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應(yīng)用。

功能和優(yōu)勢

緊湊的占地面積 – 作為可用的小工具上泵之一,EPX 節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節(jié)省了前級

道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。

低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可化功率效率。

的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準(zhǔn)壓力,并可以在所有進氣口壓力下連續(xù)工作。

超清潔機械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油

脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。

非常可靠EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 IPX 技術(shù),具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 5 年維修一次,程度地延長了

泵的使用壽命。

可兼容的網(wǎng)絡(luò) - EPX 系列配有終用戶控制,可以連接到各種結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò),以進行診斷監(jiān)視和控制。

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愛德華真空泵是半導(dǎo)體、平板顯示器、LED 和太陽能電池的制造過程中*的部分,應(yīng)用于日益多范圍化的工業(yè)過

程,包括電力、玻璃和其他涂層應(yīng)用、鋼和其他冶金、制藥和化學(xué);適用于科學(xué)儀器和許多研發(fā)應(yīng)用。

東莞比其爾真空泵保養(yǎng)維修:為客戶提供長期真空泵技術(shù)咨詢與指導(dǎo),綜合維修保養(yǎng)、部件維修保養(yǎng)、預(yù)防性維修保養(yǎng)、

現(xiàn)場服務(wù)等售后服務(wù)項目。擁有專業(yè)的進口真空泵維修車間,配件充足/維修速度快/提供備用機/

延長質(zhì)保.

服務(wù)細節(jié):您一旦下訂單,我們將會與您商定安裝日期。我們提供的系統(tǒng)調(diào)試步驟包括:正確組裝,全盤考慮所有必要的

技術(shù)性能檢測(若適用)的管道連接根據(jù)現(xiàn)場供應(yīng)情況安裝電氣設(shè)備(包括傳感器和控制系統(tǒng)集成(若有))正確加滿潤

滑油(如有需要)試運行,檢查并記錄輸出數(shù)據(jù)為操作人員提供系統(tǒng)操作培訓(xùn):指導(dǎo)檢測:公司擁有進口檢測設(shè)備與專業(yè)技

術(shù),提供質(zhì)量穩(wěn)定,確保維修過后達到的真空度和穩(wěn)定性能,確??蛻羯a(chǎn)安全無憂。我們的真空可以根據(jù)您在真空泵中

的需求,提供準(zhǔn)確、全面和快速的響應(yīng)和支持。

愛德華EPX180L半導(dǎo)體真空泵維修保養(yǎng)

 

 

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